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源头厂家，自主研发，支持定制，一年质保，终身售后
技术特点
●支持轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●设备配有在线测量仪单元，精确控制减薄厚度;
●配有具有自主产权的12英寸超精密空气主轴;
●粗磨和精磨轨迹重合技术，有效提高减薄加工稳定性，保证加工精度;
●设备具备扩展功能，可与单轴抛光机、多功能晶圆保护膜处理设备组成联机系统，实现晶圆减薄到去应力技术的一体化。
性能指标
全自动减薄机 | GR-1251 | |
最大加工物尺寸 | Φ300mm | |
主轴 | 主轴数量 | 2 |
输出功率 | 7.5KW | |
转速 | 1000-4000rpm | |
Z轴 | 行程 | 120mm |
进给速度 | 0.00001〜0.08mm/s | |
最大返回速度 | 50mm/s | |
分辨率 | 0.1μm | |
承片台数量 | 3 | |
工作台转速 | 0-300rpm | |
减薄精度 | 片内厚度偏差 | <3μm |
片间厚度偏差 | <±3μm | |
表面粗糙度Ra | <0.2μm (2000#Grinding wheel, Si) | |
测量仪 | 测量范围 | 0-1800μm |
分辨率 | 0.1μm | |
重复精度 | ±0.5μm | |
其他规格 | 外形尺寸(WxDxH) | 1445mmx3330mmx1895mm |
设备重量 | ≈5000 kg | |
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